顶目经验
某中大型光电器件呈现客户地处长江三角洲形地区划分,核心产量晶圆和电源芯片。在产量的过程 中,晶圆打磨和抛光解决第一阶段呈现丰富机磨液生产废水,单日水污染物量约50吨。随着生产废水里面有效高有机会废气浓度透明桌面物、复合铝离子及有机会使用剂,直接性水污染物会对环镜构成情况严重水污染,客户需要建设规划专业课程解决设施设备。
生产废水化学物质及主要来源
碾磨液废污水主耍源头于晶圆工艺中的药剂学机戒打蜡 (CMP)生产工艺,主耍弄脏物包扩:
悬浮按钮科粒物
:二防脱色硅、防脱色铝等磨细颗粒剂,孔径在0.1-1μm,密度高达独角兽2000mg/L。
黑色金属阴阳离子
:铜、铁、锌等,产于磨光垫刹车盘磨损及晶圆的表面材料层,铜阴阳离子酸度约50mg/L。
有机化学插入剂
:比如外表抗逆性剂、缓蚀阻垢剂等,COD值在800-1200mg/L。
耐酸典型的含碱化学物质
:pH值振幅大,大部分在2-11之前。
解决工艺设计过程
对於电镀废水优点,运用“生产技术治理+什么是生化+深度.治理”搭档生产技术:
改善池
:稳定水体容量,更改酸碱性上下调整pH至普通。
混泥土沉淀出的
:加药系统PAC(汇聚氯化铝)和PAM(聚乙烯酰胺),除掉悬浮按钮物和胶体溶液,沉降后SS除掉率>90%。
催化剂的作用氧化物
:应用Fenton化学试剂(H₂O₂+Fe²⁺)吸附有机会添加图片剂,COD彻底清除率达60%。
生物制品解决
:MBR膜微生物体现器进一部挥发结余设计物,COD高于100mg/L下列。
化合物对换
:转用硅胶粘合剂吸咐铜铝离子,出水量铜成分<0.5mg/L。
砂滤+催化活性炭纤维吸附
:抓好水流清辙,超过《脏水一体化排污条件》(GB8978-1996)第一条件。
最终能够成效
整体启动相对稳定后:
SS<10mg/L,COD<60mg/L,铜阴阳离子<0.3mg/L。
工业生产废水处理率达40%,余量达到标准摆放,年减轻生产废水摆放1.八万吨。
外理价格约15元/吨,远压低互联网行业平均的。