该厂为84英寸晶圆生产销售线配置的超注射用水装置，每一天引起含硅焦化废水150吨。焦化废河中虽无天价属，但硅分量高易积灰，且内阻率需达到18MΩ·cm这样才能工业化废水解决。和原有解决工艺设备無法能够满足新施行的《电子器件工业化水环境挥发性有机物的排放出规格》（GB39731-2020）特别的的排放出允许值。 废水处理方法化学物质优点 基本环保问题物 ：氢氧化铁硅（200-300mg/L）、顆粒硅（孔径0.1-1μm） 特种需要 ：TOC<10μg/L，硼含量<5μg/L 水的质量特点 ：低导电率（<50μS/cm）但硅化学物质姿态比较复杂 除理工艺技术流程图 创新性运用"梯级膜分离处理+电去化合物"组合公式工序： 微滤预除理 ：1μm瓷器膜拦住大粒状硅，通量形成80LMH 铝离子互换硅胶粘合剂 ：D201大孔硅胶粘合剂取舍性吸附性硅酸大分子 五级RO整体 ：独一段回笼率60%，第二名段用到高脱硼膜元器件 EDI电去阴离子 ：瞬时电流体积2A/m²，快速剔除残留物正离子 紫外线杀菌的 ：254nm太阳光的直射线极量40mJ/cm² 技能工作亮点 建设上用阻硅剂（有机物胺类复合材料物），延迟膜污染问题阶段3倍 EDI功能创新性流道定制，硅清掉率不断提升至99.8% 再线硅具体分析仪器（估测条件0.1-500μg/L）建立深度贫困有效控制 启动认真总结 经第三个方验测： 总硅从280mg/L调至0.05mg/L 硼占比从8μg/L降落到0.3μg/L 系统化回收公司率从原40%提高自己至68% 膜拆卸生长期延后至5年，年运营料工费变低35%